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发明名称 SPUTTERTARGET, VERFAHREN FÜR DESSEN HERSTELLUNG UND VERFAHREN ZUM BILDEN EINES FILMS
摘要
申请公布号 DE60037753(T2) 申请公布日期 2009.01.15
申请号 DE20006037753T 申请日期 2000.10.12
申请人 AGC CERAMICS CO. LTD. 发明人 MITSUI, AKIRA;UEDA, HIROSHI;KANDA, KOUICHI;NAKAGAMA, SUSUMU
分类号 C23C14/34;C03C17/245;C04B35/573;C04B41/50;C04B41/85;C04B41/88;C23C14/10 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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