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发明名称 SELF-FORMING METAL SILICIDE GATE FOR CMOS DEVICES
摘要
申请公布号 EP1856725(A4) 申请公布日期 2009.01.14
申请号 EP20060717971 申请日期 2006.01.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LUO, ZHIJIONG;FANG, SUNFEI;ZHU, HUILONG
分类号 H01L21/336;H01L29/76 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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