| 发明名称 | 检查设备和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种检查设备和方法。所述检查设备包括：拍摄图像获取单元，用于获取通过拍摄检查对象所获取的拍摄图像；获取单元，用于从所述拍摄图像中获取反射光相对于发射到所述检查对象的照明光的入射角的强度分布不同的第一图像区域和第二图像区域；以及图像处理单元，用于对所述第一图像区域和所述第二图像区域分别进行用于不同表面检查的图像处理。 | ||
| 申请公布号 | CN101344491A | 申请公布日期 | 2009.01.14 |
| 申请号 | CN200810132340.4 | 申请日期 | 2008.07.11 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 吉川博志;齐藤谦治 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01);G01B11/30(2006.01) | 主分类号 | G01N21/88(2006.01) |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇;陈立航 |
| 主权项 | 1.一种检查设备，包括：拍摄图像获取单元，用于获取通过拍摄检查对象所获取的拍摄图像；获取单元，用于从所述拍摄图像中获取反射光相对于发射到所述检查对象的照明光的入射角的强度分布不同的第一图像区域和第二图像区域；以及图像处理单元，用于对所述第一图像区域和所述第二图像区域分别进行用于不同表面检查的图像处理。 | ||
| 地址 | 日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号 | ||