半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置

摘要

本发明属于半导体光电子学技术领域，涉及一种半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置，包括底座，支架，滑块，升降调节杆，微调旋钮，第一橡胶板，第二橡胶板，第三橡胶板，鱼夹；通过调节微调旋钮可以使滑块相对于升降调节杆上下滑动，带动第三橡胶板上以相同高度水平排列安装的鱼夹上下移动，从而使夹紧在鱼夹上的微通道热沉浸入腐蚀液适当深度，提高了微通道热沉的腐蚀质量和成品率；并且在相同的时间内可以一次性完成多个微通道热沉的清洗，提高了多个微通道热沉腐蚀效果的一致性和清洗效率。本发明结构简单、制作成本低，适用于高功率半导体激光线阵、迭阵微通道热沉及其他热沉的化学清洗。

主权项

1、一种半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置，其特征在于包括底座(1)，支架(2)，滑块(11)，升降调节杆(3)，微调旋钮(10)，第一橡胶板(4)，第二橡胶板(5)，第三橡胶板(6)，鱼夹(7)；支架(2)固定在底座(1)的边缘，升降调节杆(3)垂直安装在支架(2)的上端；滑块(11)与升降调节杆(3)活动连接，微调旋钮(10)固定安装在滑块(11)上并与升降调节杆(3)活动连接，调节微调旋钮(10)可以使滑块(11)相对于升降调节杆(3)上下滑动；第一橡胶板(4)的一端固定在滑块(11)上，第二橡胶板(5)与第一橡胶板(4)活动连接；第三橡胶板(6)与第二橡胶板(5)固定连接；所有鱼夹(7)以相同高度水平排列安装在第三橡胶板(6)的两侧。