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发明名称
Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung von Oberflächenfehlern sowie Computerprogrammprodukt
摘要
申请公布号
DE602007000250(D1)
申请公布日期
2009.01.02
申请号
DE200760000250T
申请日期
2007.02.02
申请人
RICOH CO. LTD.
发明人
KAMADA, TERUKI
分类号
G01N21/89;G01B11/25
主分类号
G01N21/89
代理机构
代理人
主权项
地址
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