沈积有机薄膜用之装置

摘要

本发明揭露一种沈积有机薄膜用之装置。该沈积有机薄膜用之装置包含一沈积腔室以及一种沈积源组件，可分离地安装在沈积腔室里，且具有多个彼此间互相分离且以直线排列之点状沉积源，其中，点状沈积源间的间距是以从沈积源组件的中心往外递减的方式组装。该装置可藉由使用沈积源组件而非常方便地控制沈积薄膜的均匀性。