对位装置，成膜装置

摘要

提供一种使基板不会于横向滑动之对位装置。在对位装置3之　23上，配置由氟素橡胶所成而表面为平坦之接触构件10，并在此接触构件10上承载基板7，并使其作水平移动，而进行对位。氟素橡胶之静止摩擦系数系为大，而基板7与接触构件10系作面接触，因此，基板7之静止摩擦力系为大，而在　23上不会作横向滑动。若是在升降销之前端设置上端为平坦之接触构件，并使其与基板作面接触而上下移动，则基板系不会从升降销而脱落。