原子层沉积制程之前驱物的清除方法

摘要

一种原子层沉积制程之前驱物清除方法，包含在一原子层沉积制程前驱物清除步骤之时段中，利用间歇通入惰性气体与停止通入惰性气体，来有效率的清除反应室中所残留之前驱物及其副产物。其中前驱物清除步骤之时段系指自一前驱物通入步骤结束到下一前驱物开始通入之期间。