薄膜电晶体制造方法及显示装置

摘要

于薄膜电晶体制造之方法，将闸极电极4形成在基板1上。该方法包含以下步骤：将该闸极电极4形成在该基板1上；以覆盖该闸极电极4的方式形成金属氧化物层7；形成源极电极6及汲极电极5；及于惰性气体中实施热处理以使部份的该金属氧化物层7改变成通道区。