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发明名称
绘图装置
摘要
[课题]在增加使用DMD元件的绘图速度而提高生产性的情形中,缩短DMD元件的微型反射镜的切换时间而提高生产性。[解决方式]绘图装置(100)系包括:DMD元件(41),具有阵列状配置的复数个微型反射镜M;光源(10),对于微型反射镜M供给曝光光线;偏压电压控制部(83),施加使微型反射镜M设定于第一状态的第一电压,使曝光光线朝被曝光面(CB)导引,且施加使反射元件设定于第二状态的零电压,曝光光线不到达被曝光面。
申请公布号
TW200900875
申请公布日期
2009.01.01
申请号
TW097112775
申请日期
2008.04.09
申请人
奥克制作所股份有限公司
发明人
奥山隆志
分类号
G03F7/20(2006.01);G02B26/08(2006.01)
主分类号
G03F7/20(2006.01)
代理机构
代理人
洪澄文
主权项
地址
日本
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