用于预测光阻图案形状之方法，储存用于预测光阻图案形状之程式的电脑可读取媒体，以及用于预测光阻图案形状之电脑

摘要

计算藉由经由该投影光学系统将测试图案投影至光阻上而形成在光阻上之虚拟影像的轮廓形状。量测藉由使用测试图案的曝光以及显影制程所形成之光阻图案的形状。产生修正模式，其指出轮廓形状的特征量和修正量之间的关系，该修正量系根据该光阻图案的已计算之轮廓形状和已量测形状而决定。计算形成在光阻上的虚拟影像之轮廓形状，该虚拟影像系藉由经由该投影光学系统将任意图案投影至该光阻上而形成。预测对应于该任意图案的光阻图案之形状，系藉由使用与该轮廓形状的该特征量相符之该修正模式所给定之修正量，而修正该虚拟影像的该轮廓形状。