回收光阻之筛检方法以及回收光阻之再生方法与供其应用之设备

摘要

一种回收光阻之筛检方法、回收光阻之再生方法与设备以及回收光阻之溶剂抽出及回收设备。于该筛检方法中，系先以筛检装置量测回收光阻之黏度及固含量，以与对应原生光阻之黏度及固含量进行比较，以判定该回收光阻是否适于再生。经筛检适于再生之回收光阻，其黏度及固含量系不高于对应原生光阻之黏度与固含量。其后，经由调整该适于再生之回收光阻之溶剂含量，使其固含量介于原生光阻固含量之正负百分之三间，最后再进行一过滤操作，得一再生光阻。