一种大行程纳米精度定位控制系统

摘要

本发明涉及在高精度测量或实验中使用的定位控制系统，目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能够监控测量或实验仪器之间位置关系变化，并及时恢复的定位控制系统。本系统包括光源、两个半反半透镜、干涉仪、一个半波片、一个四分之一波片、一个检偏镜、分析控制系统，光路从光源出发入射到第一片半反半透镜后分成两束光，分别入射到干涉仪的两个臂，通过臂的光线通过半波片后与通过臂的光线在第二片半反半透镜汇合成一束光，通过四分之一波片之后射入分析控制系统的光感应器，为能够实现大行程的高精度定位，本发明将干涉仪其中的一个臂安装于多级精度的步进电机上，步进电机的最小行程精度为纳米级，控制端分析控制系统连接。

主权项

1.一种大行程纳米精度定位控制系统，包括光源(1)、两个半反半透镜(2)(3)、干涉仪、一个半波片(4)、一个四分之一波片(5)、一个检偏镜(6)、分析控制系统(8)，光路从光源(1)出发入射到第一片半反半透镜(2)后分成两束光，分别入射到干涉仪的两个臂(91)(92)，通过第一臂(91)的光线通过半波片(4)后与通过第二臂(92)的光线在第二片半反半透镜(3)汇合成一束光，通过四分之一波片(5)和检偏镜(6)之后射入分析控制系统(8)的光感应器(7)，其特征是干涉仪的第二臂(92)安装于多级精度的步进电机上，步进电机的最小行程精度为纳米级，控制端与分析控制系统(8)连接；所述的多级精度的步进电机由一个小行程步进电机(10)和一个大行程步进电机(11)构成，大行程步进电机(11)的行程精度不大于小行程步进电机(10)最大行程的2倍，小行程步进电机(10)和大行程步进电机(11)的控制端分别与分析控制系统(8)连接；所述分析控制系统(8)包括：用于探测微弱的光信号并将其转换成相应的数字信号的反馈模块(81)；用于调整干涉仪第二臂(92)位置的执行模块(82)；用于实现中心控制和数据传送的控制模块(83)；控制模块(83)分别与反馈模块(81)和执行模块(82)连接。