| 发明名称 | 砷化镓单晶开管热处理装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种砷化镓单晶开管热处理装置，包括：惰性气体导入单元、石英帽、石英管、热扩散炉和尾气处理单元，其中，惰性气体导入单元与石英帽和石英管相连接，所述石英管放置于热扩散炉中，并与尾气处理单元连接。采用该装置对砷化镓晶体进行热处理，既保证晶体表面无氧化、无离解，又能释放晶体热应力和提高晶体电参数均匀性，达到节约成本和降低复杂度的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN201172701Y | 申请公布日期 | 2008.12.31 |
| 申请号 | CN200820004700.8 | 申请日期 | 2008.01.25 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所;天津晶明电子材料有限责任公司 | 发明人 | 周春锋;杨连生;刘晏凤 |
| 分类号 | C30B33/02(2006.01);C30B29/42(2006.01) | 主分类号 | C30B33/02(2006.01) |
| 代理机构 | 信息产业部电子专利中心 | 代理人 | 梁军 |
| 主权项 | 1、一种砷化镓单晶开管热处理装置，其特征在于，包括：惰性气体导入单元、石英帽(5)、石英管(8)、热扩散炉(7)和尾气处理单元，其中，惰性气体导入单元与石英帽(5)和石英管(8)相连接，所述石英管(8)放置于热扩散炉(7)中，并与尾气处理单元连接。 | ||
| 地址 | 300220天津市河西区洞庭路26号 | ||