用于制备低温相偏硼酸钡单晶薄膜的衬底材料

摘要

本发明涉及制备一种低温相偏硼酸钡单晶薄膜用的衬底材料，具体是采用β－BBO微晶玻璃作为制备β－BBO单晶薄膜的衬底材料。本发明采用β－BBO微晶玻璃作为衬底材料，不仅能够实现衬底材料与薄膜材料的完美匹配，有效克服异质外延对薄膜生长带来的不利影响，最终实现高质量β－BBO薄膜材料的制备，而且具有生产效率高、成本低廉的优点，对激光技术以及集成光学的发展具有重要的意义。

主权项

1.低温相偏硼酸钡β-BBO微晶玻璃作为制备低温相偏硼酸钡单晶薄膜的衬底材料的应用。