| 发明名称 | 用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置 | ||
| 摘要 | 用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置，它包括：两条由阀门与管路连接的氮气管路，每条管路的进口端接氮气管道，其出口端接至干燥槽的静压腔，且管路中串接异丙醇吸附、释放装置，该异丙醇吸附、释放装置另一接口通过毛细管与异丙醇容器连接。主要通过毛细管效应将异丙醇从异丙醇容器中吸出，然后通过异丙醇吸附、释放装置后将异丙醇蒸汽与N<SUB>2</SUB>一起送入到干燥槽的静压腔中。本实用新型可以做到IPA持续、稳定、适量的供应到干燥槽中，从而保证硅片清洗的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN201171925Y | 申请公布日期 | 2008.12.31 |
| 申请号 | CN200720190357.6 | 申请日期 | 2007.11.26 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 阎志瑞;库黎明;盛芳毓;张国栋;葛钟;索思卓 |
| 分类号 | B01D12/00(2006.01);F26B5/16(2006.01);B01D53/04(2006.01) | 主分类号 | B01D12/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭佩兰 |
| 主权项 | 1.一种用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置，其特征在于：它包括：两条由阀门与管路连接的氮气管路，每条管路的进口端接氮气管道，其出口端接至干燥槽的静压腔，且管路中串接异丙醇吸附、释放装置，该异丙醇吸附、释放装置另一接口通过毛细管与异丙醇容器连接。 | ||
| 地址 | 100088北京市新街口外大街2号 | ||