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发明名称 Method of manufacturing a gate electrode
摘要
申请公布号 EP0908934(B1) 申请公布日期 2008.12.31
申请号 EP19980308170 申请日期 1998.10.07
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 LU, JIONG-PING;HWANG, MING;ANDERSON, DIRK NOEL;KITTL, JORGE A.;TSAI, HUN-LIAN
分类号 C23C16/34;H01L21/28;C23C28/00;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/49;H01L29/51 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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