| 摘要 |
Предлагается описание спектрометра подвижности ионов, содержащего ионный фильтр в виде по меньшей мере одного ионного канала, содержащего множество электродов. Изменяющийся во времени электрический потенциал, подаваемый на проводящие слои, позволяет фильтру селективно пропускать некоторые виды ионов. Электрический потенциал содержит движущую и поперечную компоненты, и в предпочтительных вариантах осуществления каждый из электродов участвует в создании компоненты как движущего, так и поперечного полей. Устройство можно применять без дрейфового газового потока. Предложено описание технологий микрообработки для изготовления микромасштабных спектрометров, а также разнообразные применения спектрометра. |
