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发明名称 Verfahren zur Behandlung eines Dielektrikums zur Verwendung von Halbleitervorrichtungen
摘要
申请公布号 DE69840184(D1) 申请公布日期 2008.12.18
申请号 DE19986040184 申请日期 1998.02.02
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 TSU, ROBERT;IIJIMA, SHIMPEI;ISAMU, ASANO;MASATO, KUNITOMO;TAMARU, TSUYOSHI;WILLIAM R., MCKEE
分类号 H01L21/3205;H01L21/8242;H01L21/02;H01L21/314;H01L27/108 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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