发明名称
摘要
申请公布号 JP4197178(B2) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 JP20050113300 申请日期 2005.04.11
申请人 发明人
分类号 C30B23/00;C30B29/36;H01L21/203 主分类号 C30B23/00
代理机构 代理人
主权项
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