基板吸附装置和基板搬送装置以及外观检查装置

摘要

本发明提供基板吸附装置和基板搬送装置以及外观检查装置，该外观检查装置具备在金属板上固定的三个吸附部组来作为基板吸附装置。这些吸附部组在玻璃基板的搬送方向上排列配置，每个都具备三个吸附部。这些吸附部可吸附在玻璃基板的背面上，且各设置有一个可进行倾斜动作的吸盘。位于最的吸附部组的吸附部在上方配置有按压部。按压部使辅助盘下降而将玻璃基板按压在吸附部上。这样，可抑制在基板上施加的应力并能可靠地吸附保持基板。

主权项

1.一种基板吸附装置，其特征在于，该基板吸附装置具备：载置基板的载置部；对载置在上述载置部上的基板进行吸附保持的多个吸附部；以及将上述多个吸附部分别控制为能够在不同时间进行真空吸附的控制部，上述控制部以下述方式进行控制：以上述多个吸附部中可吸附地接触基板的上述吸附部为基点，在从该基点离开的方向上依次进行吸附。