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发明名称
VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EPITAKTISCHER HALBLEITERSCHICHTEN AUS DER FLUESSIGEN PHASE
摘要
申请公布号
DE2215355(A1)
申请公布日期
1973.01.18
申请号
DE19722215355
申请日期
1972.03.29
申请人
RCA CORP., NEW YORK, N.Y. (V.ST.A.)
发明人
LOCKWOOD, HARRY FRANCIS, NEW YORK;ETTENBERG, MICHAEL, FREEHOLD
分类号
C30B19/06;H01L21/00;(IPC1-7):B01J17/22
主分类号
C30B19/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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