发明名称
摘要
申请公布号 SU446921(A1) 申请公布日期 1974.10.15
申请号 SU19731884787 申请日期 1973.02.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;(IPC1-7):H01L7/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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