发明名称 HIGH PRECISION GRINDER
摘要 PURPOSE:To grind whole area of a wafer uniformly, by feeding a pressed slurry forcedly from a bottom side of a ceiling of a casing-like body.
申请公布号 JPS52116994(A) 申请公布日期 1977.09.30
申请号 JP19760033951 申请日期 1976.03.27
申请人 发明人
分类号 B24B37/12 主分类号 B24B37/12
代理机构 代理人
主权项
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