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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5488768(A) 申请公布日期 1979.07.14
申请号 JP19770156936 申请日期 1977.12.26
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 MIYAGI MASAHIDE;SATOU NORITADA
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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