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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5911400(Y2)	申请公布日期	1984.04.07
申请号	JP19800023686U	申请日期	1980.02.26
申请人		发明人
分类号	H01J37/08;H01J3/04;H01J27/26;H01J49/16;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/26	主分类号	H01J37/08
代理机构		代理人
主权项
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