发明名称 METHOD OF FORMING CONDUCTOR PATTERN
摘要
申请公布号 JPS60120539(A) 申请公布日期 1985.06.28
申请号 JP19840171654 申请日期 1984.08.20
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 HAABAATO RUDORUFU ANDAASON JIYUNIA;KONSUTANSU JIYOON ARATSUPUSU;KIYASARIN AGUNESU ROTSUKO
分类号 H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/3105 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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