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发明名称
METHOD OF FORMING CONDUCTOR PATTERN
摘要
申请公布号
JPS60120539(A)
申请公布日期
1985.06.28
申请号
JP19840171654
申请日期
1984.08.20
申请人
INTERN BUSINESS MACHINES CORP
发明人
HAABAATO RUDORUFU ANDAASON JIYUNIA;KONSUTANSU JIYOON ARATSUPUSU;KIYASARIN AGUNESU ROTSUKO
分类号
H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/3105
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
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