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发明名称 SIGNAL PROCESSING DEVICE FOR ELECTRON BEAM MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0048858(B1) 申请公布日期 1986.01.08
申请号 EP19810107147 申请日期 1981.09.10
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 FEUERBAUM, HANS-PETER, DIPL.-PHYS.
分类号 G01P3/40;G01H11/06;G01R19/00;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/28;G06G7/18 主分类号 G01P3/40
代理机构 代理人
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