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发明名称 SURFACE ANALYSIS MICROSCOPY APPARATUS
摘要
申请公布号 IE851278(L) 申请公布日期 1986.11.22
申请号 IE19850001278 申请日期 1985.05.21
申请人 TEKSCAN LTD 发明人
分类号 G01N23/225;G01N23/22;G01N23/227;G01N25/72;G01Q30/10;G01Q30/16;G01Q30/20;H01J37/252;H01J49/06;H01J49/48;(IPC1-7):H01J49/00 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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