| 发明名称 |
DECOMPOSING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS622543(A) |
申请公布日期 |
1987.01.08 |
| 申请号 |
JP19850140230 |
申请日期 |
1985.06.28 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO COMPUT ENG CORP |
发明人 |
MIYASHITA MORIYA;YAMAYOSHI RIE |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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