| 发明名称 |
CELLULE POUR EPITAXIE PAR JETS MOLECULAIRES ET PROCEDE ASSOCIE |
| 摘要 |
<P>CELLULE POUR EPITAXIE PAR JETS MOLECULAIRES.</P><P>ELLE COMPORTE UNE CHAMBRE DE VAPORISATION 21 CONTENANT LE MATERIAU 23 A VAPORISER, MUNIE D'AU MOINS UNE OUVERTURE DE SECTION DETERMINEE POUR MAINTENIR LE MATERIAU A VAPORISER 23 A L'ETAT LIQUIDE A L'INTERIEUR DE LADITE CHAMBRE 21 ET POUR EMETTRE DES JETS MOLECULAIRES A FLUX CONTROLE, UN MANCHON 35 SOLIDAIRE DE LA CHAMBRE DE VAPORISATION 21, ENTOURANT LA (OU LES) OUVERTURES(S) 27 A SECTION DETERMINEE, DES MOYENS DE CHAUFFAGE 37 POUR MAINTENIR LA CHAMBRE DE VAPORISATION 21 ISOTHERME ET OBTENIR UNE TEMPERATURE SUFFISANTE DANS LE MANCHON 35 AFIN D'EVITER LA CONDENSATION DU MATERIAU VAPORISE DANS LEDIT MANCHON ET DANS LA (OU LES) OUVERTURES(S) A SECTION DETERMINEE.</P>
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| 申请公布号 |
FR2598721(A1) |
申请公布日期 |
1987.11.20 |
| 申请号 |
FR19860006987 |
申请日期 |
1986.05.15 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
YVES DEMAY, JEAN-PIERRE GAILLIARD, ALAIN MILLION ET JEAN PIAGUET;GAILLIARD JEAN-PIERRE;MILLION ALAIN;PIAGUET JEAN |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B23/06;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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