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经营范围
发明名称
PLASMA VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01188678(A)
申请公布日期
1989.07.27
申请号
JP19880012895
申请日期
1988.01.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MATSUURA MASAZUMI
分类号
C23C16/44;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
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