| 发明名称 |
REVERSE DARK FIELD ALIGNMENT SYSTEM FOR SCANNING LITHOGRAPHIC ALIGNER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0254871(A3) |
申请公布日期 |
1989.08.16 |
| 申请号 |
EP19870109074 |
申请日期 |
1987.06.24 |
| 申请人 |
THE PERKIN-ELMER CORPORATION |
发明人 |
WU, FREDERICK Y. |
| 分类号 |
G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):G03B41/00;G03F7/20 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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