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Die Vorrichtung zum Bestimmen von kleinen Mengen von Verunreinigungen (10') in Gasen (10) weist eine Messzelle (1) auf, in der zwischen zwei Elektroden (13, 14) mit einer niederfrequenten Wechselspannungsquelle (20) ein Lichtbogen (15) erzeugt wird. Das Emissionsspektrum des Lichtbogens wird mit Interferenzfiltern (31) und Photosensoren (32) beobachtet und aus den für die Verunreinigungsspuren (10') typischen spektralen Intensitäten, werden die Konzentrationen der Verunreinigungen (10') in der Auswerteelektronik (4) bestimmt. Die Vorrichtung eignet sich für die kontinuierliche Messung von geringen Mengen von gasförmigen Verunreinigungen (10'), beispielsweise Spuren von Stickstoff, Argon, Neon Wasser, Kohlenwasserstoffen, in Helium.
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