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发明名称
CALIBRATION METHOD FOR DEFLECTION DISTORTION CORRECTION COEFFICIENT IN CHARGED PARTICLE BEAM WRITING
摘要
申请公布号
JPH01286421(A)
申请公布日期
1989.11.17
申请号
JP19880116279
申请日期
1988.05.13
申请人
JEOL LTD
发明人
OKINO TERUAKI;IIDA NOBUO;KAWAMURA ICHIRO
分类号
H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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