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发明名称 SCANNING TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 SU1564702(A1) 申请公布日期 1990.05.15
申请号 SU19884400856 申请日期 1988.02.15
申请人 INST FIZICHESKIKH PROBLEM AN SSSR;INST PROBLEM TEKHNOLOGII MIKROELEKTRONIKI OSOBO CHISTYKH MATERIALOV AN SSSR 发明人 KHAJKIN MOISEJ S,SU;EDELMAN VALERIAN S,SU
分类号 H01J37/26 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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