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发明名称 WAFER WASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0364916(A) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 JP19890202049 申请日期 1989.08.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 MIYAMOTO YASUNORI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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