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发明名称 VAPOR-DEPOSITION DEVICE BY LASER
摘要
申请公布号 JPH0368762(A) 申请公布日期 1991.03.25
申请号 JP19890202066 申请日期 1989.08.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAGI TOSHINORI;ZUMOTO NOBUYUKI;UCHIYAMA TOSHIE;NAI YASUTO;TANAKA MASAAKI
分类号 C23C14/28 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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