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发明名称 MEHRFACHKRISTALLKOPF FUER EINEN ASCHEIDUNGSDICKENMONITOR
摘要
申请公布号 DE4018971(A1) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 DE19904018971 申请日期 1990.06.13
申请人 LEYBOLD INFICON, INC., EAST SYRACUSE, N.Y., US 发明人 KENDRICK, MARK F.;GOGOL, CARL A., MANLIUS, N.Y., US
分类号 C23C14/54;G01B7/06;G01B17/02 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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