| 主权项 |
1﹒一种连续真空蒸着装置,主要系连续的将基板,由大气中通过减压室而卷绕于蒸着室内上部之冷却辊上,藉来自该蒸着室内下部之蒸着材料收容容器所上昇之蒸气而施予真空蒸着,而通过减压室连续的搬出于大气中之装置,其特征为:减压室系,由大气中到上述蒸着室为止,以封闭装置而区分为多数区,令各减压室之入侧及出侧之基板得分别对于夹送辊而以10度以上之卷绕角而卷绕的设置一对转向辊,更在冷却辊与蒸着材料收容容器之间,装置围绕上昇蒸气通路且温度调整可能之墙,各封闭装置系具备有,并列于同一直线上之三支一组之夹送辊,及隔着若干间隙设在上述直线位置之两侧之一对封闭杆,同时令入侧及出侧之基板分别通过夹送辊之中央辊与两侧辊之间者。2﹒如申请专利范围第1项之连续蒸着装置,其中,在冷却辊与墙上部之间,设置停在基板之宽度方向移动之周缘罩而构成。3﹒如申请专利范围第1项之连续蒸着装置,其中,具备有由大气中经各减压室对于蒸着室内之蒸着材料收容容器供给线状之蒸着材料之装置者。4﹒如申请专利范围第1项之连续蒸着装置,其中,具备有由大气中,同蒸着室内之蒸着材料收容容器供给粒状之蒸着材料之蒸着材料投入装置者。5﹒如申请专利范围第1项之连续蒸着装置,其中,在冷却辊与蒸着材抖收容容器间,设置具有开口部之隔墙,同时在开口部设置可以密闭开口部之开闭自如之盖者。6﹒如申请专利范围第1项之连续蒸着装置,其中,具备有,附带有接着基板及切断之装置而将基板连续的搬入于减压室之释卷机,以及附带有接着基板及切断之装置而将基板连续的从减压室搬出之卷绕机而构成者。7﹒如申请专利范围第1项之连续蒸着装置,其中,将上述申请专利范围第1项所述之三支一组之夹送辊变更为一支封闭辊,而在该封闭辊之两侧分别留着可以令基板通过之间隙而设置一对之封闭杆而构成者。图示简单说明第1图系本发明之整体构成之一部份断面之正面图。第2图系第1图之沿箭示A之一部份放大断面图。第3图(A)系夹送辊部之放大正面图。第3图(B)系同平面图。第4图(A)系显示基板对夹送辊之卷绕角度与摇晃量图。第4图(B)系导出第4图(A)之图表之条件之图。第5图系使用一支夹送辊时之正面图。第6图(A)系同放大正面图。第6图(B)系同平面图。第7图,第8图系正面图。第9图系习用装置之正面图。第10图系一部份放大之断面图。第11图系第10图之平面图。第12图系其他实施例之正面图。 |
