发明名称 VACUUM DEVICE AND USAGE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03157585(A) 申请公布日期 1991.07.05
申请号 JP19890295053 申请日期 1989.11.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 HASHIMOTO TAKAHITO
分类号 F16K51/02;F04B37/16 主分类号 F16K51/02
代理机构 代理人
主权项
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