| 发明名称 |
PHOTO TREATMENT AND PHOTO TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04141589(A) |
申请公布日期 |
1992.05.15 |
| 申请号 |
JP19900261670 |
申请日期 |
1990.09.29 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SATO YASUE;KAWATE SHINICHI;KOMATSU TOSHIYUKI |
| 分类号 |
C23C16/48;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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