发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0529414(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910178279 申请日期 1991.07.18
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 YAMAGUCHI KAZUO;SUZUKI JUNICHI
分类号 H01L21/66;H01L21/82 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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