| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SINGLE CRYSTAL THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0590155(A) |
申请公布日期 |
1993.04.09 |
| 申请号 |
JP19910053214 |
申请日期 |
1991.02.26 |
| 申请人 |
RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON |
发明人 |
SHIODA IKUO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/208;H01L21/268 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
