发明名称 MEASUREMENT OF C-V CHARACTERISTIC
摘要
申请公布号 JPH05183036(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19910358905 申请日期 1991.12.26
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 NAGAMORI MOTOAKI;SHINGYOUCHI TAKAYUKI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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