发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343520(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19910257188 申请日期 1991.09.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOSHIKAWA HIROSHI;KANAI YASUNORI
分类号 H01L27/118;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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