发明名称 PRODUCTION OF SEMI-INSULATING INP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0632699(A) 申请公布日期 1994.02.08
申请号 JP19920208628 申请日期 1992.07.14
申请人 JAPAN ENERGY CORP 发明人 YAMAMOTO MASAHIKO
分类号 C30B29/40;C30B33/02;C30B33/12;H01L21/223;(IPC1-7):C30B29/40 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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