| 发明名称 |
MECHANISM PARTS AND FORMATION OF FILM THEREON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07102387(A) |
申请公布日期 |
1995.04.18 |
| 申请号 |
JP19930245838 |
申请日期 |
1993.10.01 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SHINOHARA HISAJI;OTE SHOICHI;KITAMURA TADAO;KOBAYASHI TOSHIO |
| 分类号 |
C23C28/00;C23C14/02;C23C14/06;C23C16/02;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/36;(IPC1-7):C23C28/00 |
主分类号 |
C23C28/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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