发明名称 |
Apparatus for the pyrolytic production of rod-shaped semiconductor bodies |
摘要 |
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申请公布号 |
US3358638(A) |
申请公布日期 |
1967.12.19 |
申请号 |
US19630300586 |
申请日期 |
1963.08.07 |
申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
RUMMEL THEODOR |
分类号 |
C01B33/035;C23C8/00;C23C16/44;C30B25/14 |
主分类号 |
C01B33/035 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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