Apparatus for depositing thin film on a wafer,申请号KR20060103883-传众专利搜索

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发明名称	Apparatus for depositing thin film on a wafer
摘要
申请公布号	KR100864868(B1)	申请公布日期	2008.10.23
申请号	KR20060103883	申请日期	2006.10.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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